美国ENTEGRIS应特格，WG3NS8RR2现货，Wafergard? III NF Micro XL 在线气
体过滤器
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
美国ENTEGRIS英特格，过滤器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4
WGMXMBSS3
YY4110106
YY5032PS1
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。
最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 μm 的颗粒
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA)
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外壳： 粉煤灰
推荐流量 30 升/分钟
连接 1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的
颗粒尺寸下验证）
运行条件 最大工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向压差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作温度： 50°C (122°F)
方面 长度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
零件号
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件装过滤器
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件装过滤器
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件装过滤器
ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2现
货
其他商品
动压应用
惰性和活性气体
产品规格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm
挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
.特种气体
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电
子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量
、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行
业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独特需求。
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和
显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电
池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（
与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与
VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与
世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和
显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电
池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（
与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与
VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与
世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 垫圈密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，接头用塑料
盖代替金属盖保护 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封垫圈（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和
CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F
WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6
WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1
CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常规
型号均有现货
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3
WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2
WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4
WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1
SI2N0100B
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 过滤器 应特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 过滤器 entegris 应特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 过滤器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一个询价?
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS23.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS22.00过滤器
YY260103P，2个
PN2H010E1，2个
ENTEGRISWGMXMSRR41.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00过滤器
50多年来，ENTEGRIS的日常使命一直是帮助客户利用他们先进的基于科学的解决方
案来支持需求 驱动程序。更快，更有效地进行创新;并最终改变世界。通过他们的解
决方案和技术专长的力量， Entegris为客户提供基于科学的创新解决方案，以应对
严峻的技术挑战。ENTEGRIS的总部位于 马萨诸塞州的比勒里卡，在全球拥有大约
5100名员工，大约一半在亚太地区或欧洲工作。通过在 亚太地区，北美和欧洲的研
发，客户服务，分析实验室和制造，ENTEGRIS在将技术提升到更高水 平时为全球
客户提供支持。
。
美国ENTEGRIS Wafergard II SF半在线气体过滤器
①当首选所有不锈钢结构时，Wafergard II SF半在线气体过滤器是高纯度气体系统
的首选过滤器 。
②先进的外壳组件通过最小化焊接面积消除了脱气现象。
③全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择。
④其紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供最高的设计效率，并降低工程成本。
美国ENTEGRIS Gasketgard?在线垫片过滤器
①Gasketgard 直列式垫片过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可代替标准的1/4“
，3/8”和1/2 “VCR 垫片
②固定器，易于对准
③专为轻松插入标准气体管线而设计
④高压和高温应用的理想选择
⑤保护关键组件免受微粒伤害
⑥ISO认证的工厂中制造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
Hide Part Numbers
YY5605153 YY5605203 YY5611153 YY5611153GF
YY5611153T
YY5611160 YY5611160T YY5611170 YY5611170GF
YY5611170T
YY5611180 YY5611180GF YY5611180T
YY5611190GFM YY5611190M
YY5611203 YY561120A YY561120B YY561120E
YY561120F
YY561120P YY5611213 YY561121F YY561121P
YY5611250
YY5611250GF YY5611250T YY5611253 YY5611253GF
YY5611253T
YY5611280 YY5611280GF YY5611280T
YY5611290GFM YY5611290M
YY5611G03 YY5611G0B YY5611G0E YY5611G0F
YY5611G0P
YY5611G13 YY5611G1E YY5611G1F YY5611G1P
YY562010NS
YY5620160 YY5620160T YY5620170 YY5620170GF
YY5620170T
YY5620180 YY5620180GF YY5620180T
YY5620190GFM YY5620190M
YY5620190TM YY5620203 YY562020B YY562020E
YY562020F
YY562020P YY5620213 YY562021F YY562021P
YY5620250
YY5620250GF YY5620250T YY5620253 YY5620253GF
YY5620253T
YY5620280 YY5620280GF YY5620280T
YY5620290GFM YY5620290M
YY5620290TM YY5620G0E YY5620G0F YY5620G1F
YY5620G1P
YY5630280 YY5630280GF YY56H000B YY56HA20A
YY56HB20B
YY56HB24B YY56HF10F YY56HF14F YY56HF20F
YY56HF24F
YY56HL10LM YY56HL14LM YY56HL20LM YY56HL24LM
YY56HP103
YY56HP143 YY56HP203 YY56HP20P YY56HP243
YY56HP24P
YY6610A2E YY6610F4E YY6610R5E YY6614F4E
YY6614U1E
YY6614U2E YY6620A2E YY6620A4AE YY6620F4E
YY6620R5E
YY6624F4E YY66B1150 YY66B1170 YY66B1280
YY66B2150
YY66B2170 YY66B2280 YY66H0A2A YY66H0F4F
YY66H0R2R
YY66H4F4F YY66H4U1A YY66H4U2A
PFA模型
材料头、模制配件、碗、塞子PFA 440 HP或同等产品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非润湿锁环
通用锁环PVDF或GFPP（玻璃填充聚丙烯）
聚四氟乙烯
安装硬件-螺母和螺栓（非湿部件）PVDF
流体连接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、
管件、FNPT
药筒连接代码0，双2-222 O型圈和带钥匙的Chemlock药筒
操作条件PVDF和GFPP锁环
zui大入口压力：
100°C（212°F）时为0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）时为0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）的PTFE锁环
zui大入口压力：
95°C（203°F）时为0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）时为0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）
zui高工作温度：
100°C（212°F）zui高工作温度：
95摄氏度（203华氏度）
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所有其他O型圈
28.5牛顿?米
使用Chemlock扭矩扳手验证扭矩规格
PP模型
材料头和碗聚丙烯（PP）
O型圈EPR，氟橡胶
PVDF非润湿锁环
流体连接件FNPT、Flaretek、Union、Rc
药筒连接代码0，双2-222 O型圈和带钥匙的Chemlock药筒
操作条件标准排水口配置
zui大入口压力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.69 MPa（6.9 bar，100 psi）@25°C（77°F）1“FNPT排水口配置
zui大入口压力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.55兆帕（5.5巴，80磅/平方英寸）@25°C（77°F）
zui高工作温度：
90°C（194°F）zui高工作温度：
90摄氏度（194华氏度）
扭矩（所有O型圈）28.5 N?m
使用Chemlock扭矩扳手验证扭矩规格
EntegrisWG2FT1RR21.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
EntegrisWG2FT1RR210.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2过滤器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1过滤器
ENTEGRISWG3NS8RR2过滤器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0过滤器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，
CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，
CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，
CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，
CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，
CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，
CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，
CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，
CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE
，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
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GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，
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QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，
QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，
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QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
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QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，
QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，
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QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，
QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，
RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，
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RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，
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TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
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CBUG0S0F1，CBUG0S0P1，CBUG0S0S1，CBUG16EL1，CBUG16KL1，
CBUG2L0F1，CBUG2L0P1，CBUG3L0F1，CBUG3L0P1，CBUG3L0S1，
CBUG3S0F1，CBUG40EL1，CBUG40KL1，CBUG40TL1，CBUG6S0P1，
CBUG8L0P1，CBUG8S0P1，CBUV0L0F1，CBUV0L0S1，CBUV0S0F1，
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CBUZ0L0F1，CBUZ0L0S1，CBUZ0S0F1，CBUZ0S0P1，CBUZ0S0S1，
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INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
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INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
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WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，
ENTEGRISWGFGT1PR145.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00过滤器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先进的外壳组件通过最小化焊接面积来消除除气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了极高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温和动压应用
惰性和反应性气体
气柜和面板
阀组箱
挂钩
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用
产品规格
材料 滤膜 镍
外壳，端盖 低硫316L不锈钢
初始下游清洁度 ≤0.03 个颗粒/升（≤1 个颗粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等级 ≥0.0015 微米
颗粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351